1978年 2月会社設立（東京都荒川区西日暮里）
1979年 5月半導体製造設備　製造販売開始
1983年 6月本社移転（東京都台東区日暮里）
1984年10月仙台工場設立（単結晶シリコンインゴット・ウェーハ製造）※2011年グループ企業へ事業統合
1990年 5月川口工場設立（半導体製造装置製造） ※2011年事業から撤退
2004年 4月高知工場設立（単結晶シリコンインゴット製造）
2007年 4月 相馬工場設立（ポリシリコン製造） ※2017年事業から撤退
2009年 1月高知第二工場設立（単結晶シリコンインゴット製造）
2009年 6月台湾 友達光電（AU Optronics Corp.）との資本提携
2010年 8月相馬第二工場設立（ポリシリコン製造） ※2017年事業から撤退
2014年 5月本社移転（東京都港区芝） 現在に至る